সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার, নির্ভুল অপটিক্যাল লেন্স এবং প্রলেপযুক্ত উপাদানের পৃষ্ঠের অমসৃণতা, ধাপের উচ্চতা এবং পাতলা ফিল্মের পুরুত্বের পরিদর্শন সরাসরি উৎপাদন ফলন নির্ধারণ করে। প্রচলিত কন্টাক্ট প্রোব স্ক্যানিং সহজেই সূক্ষ্ম নমুনায় আঁচড় ফেলে, অন্যদিকে সাধারণ অপটিক্যাল পরিমাপক যন্ত্র ন্যানো-স্তরের নির্ভুলতা প্রদান করতে পারে না। কীভাবে একই সাথে অবিনাশী পরীক্ষা, অতি-উচ্চ ন্যানো নির্ভুলতা এবং উচ্চ-উৎপাদনশীল গণ-উৎপাদন পরিদর্শন অর্জন করা যায়?
Wavelength OE-এর নতুন ইন্ডাস্ট্রিয়াল হোয়াইট লাইট ইন্টারফেরোমিটারটিতে দ্বৈত ইন্টারফেরোমেট্রি পরিমাপ মোড রয়েছে। এর নন-কন্টাক্ট ডিটেকশন পদ্ধতির মাধ্যমে এটি ল্যাবরেটরির গবেষণা ও উন্নয়ন (R&D) থেকে শুরু করে অনলাইন প্রোডাকশন QC পর্যন্ত সম্পূর্ণ ওয়ার্কফ্লো কভার করে।
সকল পৃষ্ঠতলের ভূসংস্থানের জন্য ডুয়াল কোর ইন্টারফেরোমেট্রি মোড
একক-মোড পরিমাপ যন্ত্রের বিপরীতে, এই সিস্টেমটি VSI (ভার্টিক্যাল স্ক্যানিং ইন্টারফেরোমেট্রি) এবং PSI (ফেজ-শিফটিং ইন্টারফেরোমেট্রি) অ্যালগরিদমকে সমন্বিত করে, যা একটি যন্ত্রের মাধ্যমেই পরিমাপের দুটি মূল চাহিদা পূরণ করে।
| তুলনা আইটেম | ভিএসআই / সিএসআই | পিএসআই |
|---|---|---|
| প্রধান প্রযোজ্য পৃষ্ঠতল | অমসৃণ পৃষ্ঠতল, ধাপ, বিচ্ছিন্ন ও জটিল ভূসংস্থান | অত্যন্ত মসৃণ, অবিচ্ছিন্ন এবং আয়নার মতো পৃষ্ঠতল |
| উল্লম্ব উচ্চতা পরিমাপের পরিসর | বিস্তৃত পরিসর; গভীর খাঁজ এবং উঁচু ধাপ পরিমাপ করতে সক্ষম। | সংকীর্ণ পরিসর; বিচ্ছিন্ন বড় পদক্ষেপের জন্য উপযুক্ত নয়। |
| উল্লম্ব রেজোলিউশন | ন্যানোমিটার স্তর; অপ্টিমাইজড অ্যালগরিদমের সাহায্যে সাব-ন্যানোমিটার অর্জনযোগ্য | সর্বোচ্চ রেজোলিউশন; সাব-ন্যানোমিটার এমনকি সাব-অ্যাংস্ট্রম স্তর পর্যন্ত পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা |
| পৃষ্ঠের অমসৃণতার প্রতি সহনশীলতা | উচ্চ | নিম্ন |
| পর্যায় অস্পষ্টতা | প্রায় নেই; পরম উচ্চতার মান আউটপুট উপলব্ধ। | 2π ফেজ র্যাপিং ত্রুটির সাপেক্ষে |
| গতি পরিমাপ | অক্ষীয় স্ক্যানিং প্রয়োজন, তুলনামূলকভাবে ধীর | সাধারণত দ্রুততর |
| কম্পন প্রতিরোধ | স্ক্যান করার সময় কম্পনের প্রতি সংবেদনশীল | মাল্টি-ফ্রেম ফেজ শিফটিং, কম্পনের প্রতি আরও সংবেদনশীল |
| সাধারণ প্রয়োগ | অমসৃণতা, ধাপের উচ্চতা, অণুসজ্জা, যন্ত্রায়িত পৃষ্ঠতল | অতি-মসৃণ পৃষ্ঠের অমসৃণতা, পৃষ্ঠের আকৃতি এবং সমতলতা পরীক্ষা |
পিএসআই (ফেজ-শিফটিং ইন্টারফেরোমেট্রি): ন্যানো-স্কেলের ক্ষুদ্র উচ্চতার বৈশিষ্ট্য এবং অতি-পাতলা ফিল্মের জন্য বিশেষায়িত, যা চূড়ান্ত আণুবীক্ষণিক রেজোলিউশন প্রদান করে।
সমতল দর্পণ
বক্র দর্পণ (উত্তল দর্পণ)
ফটোলিথোগ্রাফিক প্যাটার্ন নমুনা
ভিএসআই ভার্টিকাল স্ক্যানিং ইন্টারফেরোমেট্রি: যেসব ওয়ার্কপিসের উচ্চতার ব্যাপক তারতম্য এবং উঁচু ধাপ থাকে, সেগুলোর জন্য বিশেষভাবে উপযোগী; খণ্ডিত স্ক্যানিং ছাড়াই সম্পূর্ণ পরিমাপ পরিসীমা পাওয়া যায়।
উন্নত প্যাকেজড ওয়েফারে বৃত্তাকার মাইক্রো বাম্প অ্যারে
উন্নত প্যাকেজড ওয়েফারে উপবৃত্তাকার মাইক্রো বাম্প অ্যারে
মাইক্রোলেন্স অ্যারে
৪৫০–৭০০ ন্যানোমিটার স্বল্প-সমন্বয়ী সাদা আলোর উৎসের সাথে সংযুক্ত করলে, এটি একাধিক প্রতিফলন থেকে সৃষ্ট বিচ্ছুরিত আলোকে কার্যকরভাবে দমন করতে পারে এবং শক্তিশালী হস্তক্ষেপ-রোধী কর্মক্ষমতা প্রদান করে। বহুস্তরীয় আবরণে সজ্জিত, কম প্রতিফলন ক্ষমতাসম্পন্ন এই অপটিক্যাল উপাদানটি স্থিতিশীল ও সুস্পষ্ট হস্তক্ষেপ সংকেত প্রদান করতে পারে, যার ফলে খাঁটি ও নির্ভরযোগ্য পরিমাপের ফলাফল পাওয়া যায়।
২. শিল্প-নেতৃত্বস্থানীয় ন্যানো-গ্রেড স্পেসিফিকেশন, শনাক্তযোগ্য ও স্থিতিশীল দীর্ঘমেয়াদী ডেটা
সিস্টেমটিতে ৫৫০ ন্যানোমিটার কেন্দ্রীয় তরঙ্গদৈর্ঘ্যের একটি এলইডি সাদা আলোর উৎস ব্যবহার করা হয়েছে, যা বিশ্বমানের প্রিমিয়াম স্ট্যান্ডার্ডের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ শীর্ষ-স্তরের কোর পারফরম্যান্স প্যারামিটার দ্বারা সজ্জিত।
উল্লম্ব রেজোলিউশন: ＜১ nm, পুনরাবৃত্ত পরিমাপ ত্রুটি: ＜১০ nm, প্রকৃত ন্যানোমিটার নির্ভুলতা
সর্বোচ্চ উল্লম্ব পরিমাপ পরিসীমা: ৫০০ মাইক্রোমিটার, উঁচু-নিচু মাইক্রোস্ট্রাকচারের জন্য বারবার অবস্থান পরিবর্তনের প্রয়োজন নেই।
স্ক্যানিং গতি: ১০০ মাইক্রোমিটার/সেকেন্ড, একটি সম্পূর্ণ স্ক্যান ১০ সেকেন্ডের মধ্যে সম্পন্ন হয়, যা নির্ভুলতা এবং পরিদর্শন কার্যক্ষমতার মধ্যে ভারসাম্য রক্ষা করে।
NIST ট্রেসেবল স্ট্যান্ডার্ডের সাথে সঙ্গতিপূর্ণ, অন্তর্নির্মিত অটো-ক্যালিব্রেশন অ্যালগরিদম সামঞ্জস্যপূর্ণ ট্রেসেবল ব্যাচ ডেটা নিশ্চিত করে, যা সেমিকন্ডাক্টর এবং অপটিক্যাল শিল্পের কঠোর QC মান পূরণ করে।
| আইটেম | প্যারামিটার |
| পরিমাপের ক্ষমতা | প্রতিফলক পদার্থ এবং অপটিক্যাল উপাদানগুলির ত্রিমাত্রিক পৃষ্ঠতল টপোগ্রাফি, পৃষ্ঠতল অমসৃণতা, ধাপের উচ্চতা এবং ফিল্মের পুরুত্ব |
| ডেটা অধিগ্রহণ মোড | উল্লম্ব স্ক্যানিং ইন্টারফেরোমেট্রি (VSI) + ফেজ-শিফটিং ইন্টারফেরোমেট্রি (PSI) |
| ক্রমাঙ্কন ব্যবস্থা | NIST ট্রেসেবল স্ট্যান্ডার্ড + স্বয়ংক্রিয় ক্রমাঙ্কন অ্যালগরিদম |
| উল্লম্ব পরিমাপের পরিসর | ৫০০ মাইক্রোমিটার |
| দৃশ্যক্ষেত্র | ২০× অবজেক্টিভ: ০.৮৭ × ০.৬৫ মিমি |
| ক্যামেরার পারফরম্যান্স | সর্বোচ্চ রেজোলিউশন: ২০৪৮×২৪৪৮; ফ্রেম রেট: ৭৪ এফপিএস; বিট ডেপথ: ১২ বিট |
| স্ক্যানিং গতি | ১০০ মাইক্রোমিটার/সেকেন্ড (প্রিসিশন মোড) |
| অবজেক্টিভ লেন্সের বিকল্প | কনফিগারযোগ্য ২০x / ৫০x বিবর্ধন অবজেক্টিভ |
| ইনস্টলেশন ডিজাইন | অন্তর্নির্মিত সক্রিয় কম্পন নিরোধক প্ল্যাটফর্ম, অনুভূমিক ও উল্লম্বভাবে স্থাপনযোগ্য |
| সামগ্রিক মাত্রা (দৈর্ঘ্য×প্রস্থ×উচ্চতা) | ১২০ × ৮০ × ৬৫ সেমি |
| নেট ওজন | ≤৫৮ কেজি |
৩. শিল্পক্ষেত্রে ব্যবহৃত সমন্বিত ক্যাবিনেট ডিজাইন, যা ল্যাব ও প্রোডাকশন লাইনের জন্য উপযুক্ত।
নমনীয় স্থাপন সুবিধার সাথে ব্যাপক উৎপাদন কর্মশালা এবং বৈজ্ঞানিক গবেষণাগার উভয়ের জন্যই বিশেষভাবে উপযোগী।
অন্তর্নির্মিত সক্রিয় কম্পন নিরোধক প্ল্যাটফর্ম: কারখানার কম্পনের মধ্যেও স্থিতিশীল পরিমাপ, কোনো অতিরিক্ত কম্পন নিরোধক টেবিলের প্রয়োজন নেই।
দ্বৈত স্থাপন কাঠামো: অনুভূমিক বা উল্লম্বভাবে স্থাপনযোগ্য, স্বয়ংক্রিয় উৎপাদন লাইন এবং ল্যাব ওয়ার্কস্টেশনের সাথে সহজে সমন্বয়যোগ্য।
কমপ্যাক্ট অল-ইন-ওয়ান বডি: ১২০×৮০×৬৫ সেমি মাপের ছোট আকার, ওজন ৫৮ কেজির কম এবং সাইটে সহজে স্থাপনযোগ্য।
সম্পূর্ণ সিস্টেমটিতে আলোক উৎস, ইন্টারফেরোমিটারের মূল ইউনিট এবং কন্ট্রোল মডিউল সমন্বিত রয়েছে। প্যাকেট খোলার পর এটি সরাসরি প্লাগ-এন্ড-প্লে, কোনো জটিল অপটিক্যাল পাথ অ্যাডজাস্টমেন্টের প্রয়োজন নেই।
উচ্চ-নির্ভুল উৎপাদনের জন্য বিস্তৃত প্রয়োগ ক্ষেত্র
সেমিকন্ডাক্টর শিল্প: সিলিকন ওয়েফার এবং মাইক্রো-ন্যানো চিপের ত্রিমাত্রিক টপোগ্রাফি ও স্টেপ হাইট পরিদর্শন।
প্রিসিশন অপটিক্স: অপটিক্যাল লেন্স, অবজেক্টিভ এবং প্রলেপযুক্ত অপটিক্যাল এলিমেন্টের অমসৃণতা ও ফিল্মের পুরুত্ব পরীক্ষা।
নতুন কার্যকরী আবরণ: প্রতিফলক আবরণ এবং কার্যকরী পাতলা ফিল্মের পৃষ্ঠতল প্রোফাইল ও পুরুত্ব বিশ্লেষণ।
বৈজ্ঞানিক গবেষণা পরীক্ষাগার: মাইক্রো-ন্যানো কাঠামোর বৈশিষ্ট্য নিরূপণ এবং উপাদানের সূক্ষ্ম আকার-আকৃতি পরীক্ষা।
অপটিক্যাল গবেষণা ও উন্নয়নে বহু বছরের পেশাদার অভিজ্ঞতার সুবাদে, ওয়েভলেংথ ওই (Wavelength OE) স্বাধীনভাবে হোয়াইট লাইট ইন্টারফেরোমিটারের জন্য সমস্ত মূল অপটিক্যাল পাথ এবং পরিমাপ অ্যালগরিদম তৈরি করে। আলোক উৎস, অবজেক্টিভ লেন্স থেকে শুরু করে ক্যালিব্রেশন সিস্টেম পর্যন্ত সম্পূর্ণ প্রযুক্তিগত নিয়ন্ত্রণ আমাদের হাতে। ডেলিভারির আগে প্রতিটি ইউনিটকে বহু-পর্যায়ের নির্ভুল ক্যালিব্রেশনের মধ্য দিয়ে যেতে হয়। আমরা বিক্রয়োত্তর সম্পূর্ণ প্রযুক্তিগত সহায়তা প্রদান করি এবং গ্রাহকের ওয়ার্কপিসের আকার ও স্বয়ংক্রিয় উৎপাদন লাইনের প্রয়োজনীয়তার উপর ভিত্তি করে বিশেষ পরিমাপ সমাধান তৈরি করে দিই।
পোস্ট করার সময়: ১৫-জুলাই-২০২৬